全自动影像测量仪(3C-3A)

 重合精度：±2μm  X Y线性精度：±(3+L/100)μm  Z线性精度：±(2.5+L/100)μm  精度验证：200mm-1mm-1μm光学尺校正（现场实测）  测量范围：300*200*100mm  位移解析：0.4μm  位移驱动：0.1μm  放大倍率：35－225X  光学成像：CCD优质成像方式（专利技术）  运动控制：精确伺服控制模式（专利技术）  用户文件：《仪器校准证书》  取边速度：3ms／per  平台尺寸：612×413mm