日本桥川制作所在冈山大学工学部等单位协作下,研制了激光加工与电火花加工兼用的精密微孔加工系统。它是将两种加工机构组合在一台机床上,不仅有效用于微细深孔的加工,还有望用于实现以往难加工的无绳电话的小型模具。该系统是由特殊的电火花加工装置、YAG激光加工实验装置、表面粗糙度测量装置、高速摄像机系统以及数字显微镜构成。首先利用YAG激光在加工对象上加工出预孔并清除滞留在预孔内的切屑,然后,对预孔进行精密加工。利用内孔粗糙度测量仪测量预孔或微孔的加工精度。
YAG激光加工能实现高速加工,但其加工精度有些问题。电火花加工的精度虽好,但加工速度较慢。上述精密微孔加工系统,不仅互补了两者的缺点,还发挥出了各自的优点。